常见的真空腔体加工的检漏方法
2019/07/05
真空腔体加工检漏的方法主要有三种,其中氦质谱检漏是真空检漏领域里不可少的一种,由于检漏效率高,简便易操作,仪器反应灵敏,精度高,不易受其他气体的干扰,在检漏中有较多应用。真空腔体加...
+ More真空腔体的概述
2019/06/17
这种真空腔体是为减少了半导体应用中真空腔的个数而准备的,而晶圆容量不变。这种结构采用了配备有压差真空凹槽的预置空气轴承的移动真空。产品的特点是机台定位的静态、动态响应,抽气时间、稳...
+ More真空腔体烘烤
2019/06/04
观察真空腔体烘烤时的真空度变化结果,烘烤采用缠绕加热带的方式。当真空度达到约10-3Pa时,开始给加热带逐渐通电加热,保持腔体在150℃下进行长时间烘烤。烘烤过程中关闭离子泵,同时...
+ More真空腔体的制作
2019/06/04
焊接是真空腔体制作中重要的环节之一。为避免大气中熔化的金属和氧气发生化学反应从而影响焊接质量,通常采用氩弧焊来完成焊接。氩弧焊是指在焊接过程中向钨电极周围喷射保护气体氩气,以防止熔...
+ More真空腔体的制作材料
2019/06/04
真空腔体是保持内部为真空状态的容器,真空腔体的制作要考虑容积、材质和形状。不锈钢是目前超高真空系统的主要结构材料。其中300系列不锈钢是含Cr10%~20%的低碳钢,具有优良的抗腐...
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