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圆筒型真空腔体
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氮气清洗
氮气清洗主要是利用了氮气在材料表面的吸附热小、真空腔体吸留时间短,容易被抽走的特性,用氮气冲洗被污染的真空系统,同时挤占水气等其他气体分子的粘附空间,缩短真空系统的抽气时间。
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