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立式真空腔体



           氦质谱检漏
           该检漏方法是真空检漏领域里不可少的一种技能,因检漏效率高,操作简单,仪器反应灵敏,精度高,不容易受到其他气体干扰,在真空检漏中得到了很多应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。真空腔体由分析器、离子源、分析器、冷阴电离规、收集器组成的质谱室和抽气系统及电气等部分组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子,在室内来回地振荡,并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子,这些氦离子在加速电场作用下进入磁场,在洛伦兹力的作用下偏转,进而形成了圆弧形轨道,改变加速电压可使不同离子通过磁场和接收缝到达接收而被检测到。其中呢,喷氦法和吸氦法是氦质谱检漏常用的两种方法。


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