这种真空腔体是为减少了半导体应用中真空腔的个数而准备的，而晶圆容量不变。这种结构采用了配备有压差真空凹槽的预置空气轴承的移动真空。产品的特点是机台定位的静态、动态响应，抽气时间、稳定时间缩短等等。