氮气清洗

           氮气清洗主要是利用了氮气在材料表面的吸附热小、真空腔体吸留时间短,容易被抽走的特性，用氮气冲洗被污染的真空系统，同时挤占水气等其他气体分子的粘附空间，缩短真空系统的抽气时间。