真空腔体是保持内部为真空状态的容器，真空腔体的制作要考虑容积、材质和形状。  　　
       不锈钢是目前超高真空系统的主要结构材料。其中300系列不锈钢是含Cr10%～20%的低碳钢，具有优良的抗腐蚀性、放气率低、无磁性、焊接性好、导电率和导热率低、能够在-270～900℃工作等优点，在高真空和超高真空系统中，应用广泛。      　　
       近年来，为了降低真空腔体的制作成本，采用铸造铝合金来制作腔体也逐渐普及。另外，采用钛合金来制作特殊用途真空腔体的例子也不少。
       为了减小腔体内壁的表面积，通常用喷砂或电解抛光的方式来获得平坦的表面。超高真空系统的腔体，主要是利用电解抛光来进行表面处理。