特材真空腔体根据腐蚀工况与真空洁净要求，选用多种特种金属材质制作。常用材质包含工业纯钛、哈氏合金、纯镍、蒙乃尔合金、双相不锈钢等。纯钛材质耐氯离子与有机酸腐蚀，放气率低、物料没污染；哈氏合金适配强氧化、还原性混合酸，抗点蚀与缝隙腐蚀性能突出；纯镍及蒙乃尔合金专用于高温强碱、碱液及氢氟酸工况；双相不锈钢耐氯离子应力腐蚀，性价比越高。各类特材均具备气密性好、真空放气率低、化学稳定性强的特点，可满足高真空、高洁净、强腐蚀工况需求，适配不同行业真空设备使用。