实验室的纯镍腔体烘烤时的真空度变化结果，烘烤采用缠绕加热带的方式。当真空度达到约10-3 Pa时，开始给加热带逐渐通电加热，保持腔体在150℃下进行长时间烘烤。烘烤过程中关闭离子泵，同时也给离子泵通电进行加热烘烤，这时的腔体只靠分子泵和前泵来排气。随着腔体温度的升高，腔体表面吸附的水蒸气等气体分子大量放出，真空度会恶化。气体的放出量随着烘烤时间的增加而逐渐减少，因此真空度也逐步好转。停止烘烤时，切断加热带和离子泵的烘烤电源，然后趁腔体仍处在高温的状态下对钛升华泵进行除气处理。钛升华泵的除气处理是指给Ti丝通电加热，但又控制温度在Ti升华温度之下的操作。钛升华泵除气处理的目的是清掉吸附在Ti丝表面的气体分子以及其他可能的污染物，以让钛升华泵的正常工作。完成钛升华泵的除气处理之后，启动离子泵和钛升华泵，增加真空排气的力度。随着排气力度的增加和由于腔体温度减少而放出气体的减少，系统的真空度会很快好转。