真空腔体蒸汽脱脂清洗方法

          蒸气脱脂指被粘物表面用餐剂的蒸气不断清洗以达到脱脂的目的，适用于表面类脂膜和油脂膜的清洗，操作方法简单，可以实现大批量清洗一些带有附着物或污染较为严重的基片在擦洗或超声波清洗后，用蒸汽脱脂清洗可以实现较好的清洗作用。