常用的的真空腔体清洗溶剂包括含洗涤剂的水、石油分馏物、稀酸、碱、各金属清洗剂等。根据表面附着物的不同，需要用不同的溶剂进行清洗。真空腔体如锈蚀物需要用酸性金属清洗剂，矿物油脂需要用溶剂等。